大学/公設試験研究機関

ブースNo. O-9

企業を技術支援し、研究や製品開発、社内教育の実習に貢献します

ねらい ナノテクプラットフォーム事業と技術支援事例の紹介 -樹脂フィルムに微細パターニングを施し高機能化-

提案の内容

全国16機関が連携して文部科学省のナノテクプラットフォーム事業(微細加工分野)を実施しています。

豊田工大の技術支援の事例紹介:

樹脂フィルム(PET/PVA二層フィルム)をフォトレジストの転写基材として用い、
①フォトリソグラフィにより、平面フィルムに微細パターンの潜像を形成する
②得られた微細パターン付き平面フィルムを立体部品に貼り付ける
③フィルムを水洗、PVAを溶解し、残った微細パターン付きレジスト膜を現像(未硬化部分のレジストを除去)して、立体部品上に微細パターンを形成する
すなわち、レジスト膜を塗ってからパターン転写する従来法から、パターン転写を済ませたレジスト膜を貼る方法により、微細でありながら立体へのパターン転写を可能にした。

【技術支援の事例】

 SOシートに使う水溶性ポリマーPVAは、アセトン等の有機溶剤に不溶です。その性質をレジストプロセスに応用することで、従来は難しかった立体部品のフォトリソグラフィ加工を可能にしました。
具体的には、SOシート(PET/PVA二層フィルム)をフォトレジストの転写基材として用い、まずフォトリソグラフィによる微細パターンの潜像までを形成します。次にそのシートを立体部品に貼り付け、SOシートを水洗、剥離した後現像(未硬化部分のレジスト除去)することで、立体部品上に微細パターン膜を形成します。
実験では、曲面を持つ部品に幅2μmの微細パターンが形成できました。パターンには自由度があり、例えば、プロペラ表面にサメ肌のようなリブレット溝を形成すると、流体抵抗の低減が期待されます。様々な機能性表面形成への応用につながると考えています。



【様々な形態で企業等を技術支援】


 本学は、文部科学省の「ナノテクノロジープラットフォーム事業」に参画し、企業や研究機関に対して技術支援を行っています。
シリコン微細加工技術と様々な材料によるナノ構造体とのハイブリッド化、Ⅲ-Ⅴ族・カーボン・磁気材料にも対応できるナノ構造の加工・形成・計測評価用の設備群も提供し、学内研究者が技術課題の解決に向けて支援を行います。



ポイント

技術支援制度(ナノテクプラットフォーム 微細加工分野)により、企業に研究設備の利用、ノウハウ提供を行う。

用途・応用分野 立体部品への微細パターン形成は、立体配線やレンズ曲面加工などへの応用で支援しています。
その他の展示製品・技術
・文科省「ナノテクプラットフォーム事業」紹介パンフレット
・豊田工業大学 研究室紹介冊子 等

豊田工業大学

所在地 468-8511 愛知県名古屋市天白区久方2-12-1

URL http://www.toyota-ti.ac.jp/

担当者名 西口 亮太

TEL 052-809-1723

E-mailresearch@toyota-ti.ac.jp
(お問い合わせはマッチングシステム申し込みフォームよりお願いいたします。)

50音順